微流控缺陷檢測 Nanotronics nSpec Macro可以照亮樣品的整個面，或設置照明角度和/或離散照明矢量。 明場，暗場，正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨配置的LED，配合使用可調節照明的強度，顏色和位置。

LODAS™ – LI系列是列真株式會社推出的一款FPD Photomask缺陷檢查裝置。

LODAS™ – BI12是列真株式會社推出的一款GlassWafe缺陷檢查裝置。

LODAS™ – CI8是列真株式會社推出的一款化合物半導體SiC、GaN晶圓檢查裝置。

LODAS™ – BI8是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。

LODAS™ – AI50/100是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。